问题——关键耗材受制约与需求快速增长并存 在集成电路制造流程中,晶圆表面平坦度直接影响后续光刻与薄膜沉积的良率。CMP依靠化学作用与机械研磨配合,实现纳米级平坦化,已广泛应用于多道工序。抛光液由磨料、添加剂和超纯水等复配而成,配方体系复杂,对质量一致性要求极高,还需与抛光垫、清洗液等材料协同匹配,是CMP环节的核心耗材之一。长期以来,有关市场主要由海外企业占据主导,产品验证周期长、替换成本高,使关键材料的自主供给能力成为产业关注重点。,国内晶圆厂扩产带来的新增需求持续释放,供给能力与技术水平能否同步提升,成为行业需要解决的现实问题。
CMP抛光液的国产化进展,是观察中国半导体产业链韧性的一个重要切口。从跟跑到并跑,再到局部领跑,这个过程说明了市场需求与技术创新的相互推动,也反映出高端制造升级的路径。未来,随着全球半导体竞争格局变化,只有在坚持自主创新的同时保持必要的国际合作,才能在关键材料领域夯实基础,为科技自立自强提供支撑。