在当前全球半导体产业竞争加剧的背景下,我国在化合物半导体光电子领域仍存在关键工艺受制于人的短板。
深圳技术大学此次建成的微纳加工平台,正是针对产业链上游制造环节"卡脖子"问题的重要突破。
该平台建设历时三年,获得深圳市、坪山区两级政府重点支持。
其2600平方米的洁净车间内,配置了电子束光刻机、等离子刻蚀系统等国际先进设备,工艺精度达到纳米级。
特别值得注意的是,平台创新采用"高校主导、企业参与、政府保障"的运营模式,已与比亚迪、博升光电等12家产业链龙头企业建立合作机制。
从产业影响维度看,该平台将显著提升大湾区半导体产业的自主可控能力。
据行业专家分析,化合物半导体在5G通信、激光雷达等新兴领域具有不可替代性,但国内相关芯片80%依赖进口。
平台投产后,预计可满足区域内企业50%以上的研发中试需求,缩短产品开发周期约40%。
在人才培养方面,平台开创了"课程-实训-研发"三位一体培养体系。
集成电路与光电芯片学院院长宁存政介绍,平台已组建包括3名院士顾问在内的核心技术团队,未来每年可培养200名本硕博专业人才。
这种"实验室即生产线"的教学模式,有效破解了半导体领域人才培养与产业需求脱节的难题。
展望未来发展,该平台将重点攻关硅基光子集成、微型光谱传感等前沿技术。
坪山区政府透露,计划以该平台为核心,三年内建成千亿级半导体产业集群。
深圳市科技创新局表示,将以此为契机,加快构建"基础研究+技术攻关+成果产业化"的全过程创新生态链。
半导体产业是衡量一个国家和地区科技竞争力的重要标志。
深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台的落成,既是深圳市在芯片制造领域的重要突破,也是高等教育服务产业发展的生动实践。
该平台通过打通人才培养、科学研究、技术创新和产业应用的全链条,为破解"卡脖子"技术难题、培养高端专业人才、推动产业转型升级提供了新的路径。
随着平台逐步投入运营,相信将为粤港澳大湾区的科技创新和产业发展注入新的动力,助力我国半导体产业实现更高层次的自主创新和自立自强。