1)SGS与复旦共建半导体微环境实验室,聚焦先进制程污染物监测与标准突破

集成电路已成为国家战略性核心产业,产业发展正加速向2纳米至3纳米先进制程迈进。但在这个过程中,半导体生产微环境中的气态分子污染物监测溯源、超痕量检测等关键技术仍存在明显短板,直接影响晶圆生产良率、产品可靠性和产业竞争力。

此次合作展现了我国产学研协同创新的新路径。通过整合国际资源与本土科研优势,有望在半导体关键领域实现从跟跑到并跑的跨越。未来仍需政府、企业、高校形成合力,共同推动中国半导体产业的高质量发展。