我国科学家突破芯片散热关键技术 半导体器件性能实现跨越式提升

记者从西安电子科技大学获悉,该校郝跃院士、张进成教授团队在芯片散热技术领域取得重大突破,成功解决了困扰国际半导体界近二十年的技术难题。

相关研究成果已在《自然·通讯》和《科学·进展》等国际顶级期刊发表。

长期以来,半导体器件的散热问题一直是制约芯片性能提升的关键瓶颈。

在以氮化镓为代表的第三代半导体和以氧化镓为代表的第四代半导体中,不同材料层间的界面质量直接影响整体性能表现。

传统技术采用氮化铝作为材料间的缓冲层,但在生长过程中会形成不规则的"岛状"结构,表面凹凸不平,导致热量传递时阻力巨大,在芯片内部形成"热堵点"。

团队成员周弘教授指出,这种"岛状"结构的表面粗糙度严重影响了热传导效率,热量无法有效散出,在芯片内部不断累积,最终导致器件性能下降甚至烧毁。

这一技术瓶颈长期制约着射频芯片功率的进一步提升,成为半导体行业发展的重大障碍。

面对这一世界性难题,西电团队另辟蹊径,从根本上改变了氮化铝层的生长模式。

他们开发出"离子注入诱导成核"技术,成功将氮化铝层从粗糙的"多晶岛状"结构转变为原子排列高度规整的"单晶薄膜"。

这一创新将原本随机、不均匀的生长过程转变为精准、可控的均匀生长,实现了材料结构的根本性改变。

技术突破带来的效果显著。

实验数据表明,新结构的界面热阻仅为传统"岛状"结构的三分之一,热传导效率大幅提升。

基于这项创新技术制备的氮化镓微波功率器件,在X波段和Ka波段分别实现了42瓦每毫米和20瓦每毫米的输出功率密度,将国际同类器件性能纪录提升30%至40%,创造了该领域近二十年来最大幅度的性能突破。

这一技术进步的意义远超实验室范畴。

在军用雷达领域,芯片功率密度的提升意味着在相同芯片面积下,装备探测距离可显著增加。

在民用通信领域,基站设备能够实现更远的信号覆盖范围和更低的能耗表现。

对于普通消费者而言,未来手机在偏远地区的信号接收能力有望增强,设备续航时间也可能延长。

更为重要的是,这项技术为5G、6G通信网络建设以及卫星互联网等新兴产业发展储备了关键的核心器件能力。

团队成功将氮化铝从单一的"粘合剂"功能转变为可适配、可扩展的"通用集成平台",为解决各类半导体材料高质量集成问题提供了可复制推广的技术方案。

展望未来发展前景,团队并未满足于现有成果。

周弘教授表示,虽然氮化铝材料性能优异,但金刚石等材料具有更强的导热性能。

如果能够将中间层替换为金刚石材料,器件的功率处理能力有望再提升一个数量级,达到现有水平的十倍甚至更高。

不过,这一目标的实现可能需要另一个"以十年计"的科研攻关过程。

芯片性能的上限,往往不只由单一材料的“天赋”决定,更取决于关键界面能否被精确塑形与稳定掌控。

把“岛状粗糙界面”变为“原子级平整薄膜”,看似微观工艺的改进,却可能牵动功率、能效与可靠性等一系列宏观指标。

面向5G/6G、卫星互联网与高端装备需求,持续在基础工艺和共性瓶颈上实现突破,才能把技术领先转化为产业竞争力与发展主动权。