中新网西安11月5日电，陕西光电子先导院把西北地区首条硅光中试线给打通了。这个平台叫“8英寸先进硅光集成技术创新平台”，在2023年年底就开始动工建设了，总共砸下了7.5亿元。到了2025年9月，场地和设备都弄完了。 院里引进了比利时IMEC的“130nm硅光芯片工艺包”，还拉来光刻、刻蚀等60多套设备。他们在这个130nm有源工艺的基础上，又开发出了90nm以上的先进工艺，让自己手里有了全套的自主可控体系。 4号这天，他们还发布了首款无源SOI集成超低损耗氮化硅产品的PDK。总经理杨军红说，预计2026年就能做出有源产品通线的事儿。这种包含高性能调制器和探测器的器件，能帮做AI、光通信这些的客户省下不少流片周期和研发成本。 陕西光电子先导院之前在化合物芯片上已经很有经验了，手里已经有个6英寸的平台服务着50多家企业。这次把8英寸硅光平台给接上了之后，就跟西安科学园的先进阿秒激光设施、光子传感园的产业化载体搭上线了。 这个平台是“追光计划”的一个关键节点，把区域里的硅光芯片中试短板给补齐了。之前他们已经砸下了15亿元造这两个中试平台，现在有了这两个平台的双管齐下，就给“追光计划”提供了从基础研究到量产落地的全链条支撑。 杨军红还透露，下一步要搞异质异构集成平台建设，把“化合物半导体+硅光+异质异构集成”这三个板块连成一体。这就能从材料生长一直覆盖到系统测试，为生物传感、智能驾驶这些前沿领域撑场子。他们想把陕西打造成光子产业高地。 目前8英寸硅光平台刚通线没多久，就已经跟十多家头部企业达成了合作意向。这种趋势不光是吸引了外地的企业过来聚集陕西。从化合物半导体做到硅光集成，“追光计划”正靠着平台能力的跃升推着新生产力往前走呢。 6英寸化合物平台在2023年启用后发布了20多款PDK，给50多家客户提供全流程服务；虽然8英寸平台刚开通但势头正猛。把“追光计划”从蓝图变成现实的动力已经进来了。