国产等离子体工艺腔室仿真平台实现自主突破 助力原子级制造缩短研发周期降本增效

原子级制造作为推进新型工业化的核心"根技术",长期以来面临技术瓶颈制约。

记者从大连理工大学获悉,该校科研团队历经多年攻关,成功研发出国内首款具有完全自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真平台,为破解这一关键技术难题提供了重要突破口。

据大连理工大学集成电路学院党委书记、博士生导师高飞介绍,这一名为MAPS的仿真平台具备强大的技术优势。

该平台能够针对产业界的原子级制造装备进行全方位仿真,涵盖外控参数设置、装置几何结构优化等多个维度,并可精准预测最终演化结果。

通过在虚拟世界中复现真实制造过程,企业能够实现产品的提前研发和性能预判,从而显著缩短研发周期,提升研发效率。

技术突破的背后是科研团队的执着坚守。

依托大连理工大学在等离子体物理学科的深厚积淀,研发团队展开了长达数年的技术攻关,累计进行数万次等离子体实验测试,最终实现了从理论到实践的完美转化。

这一成果不仅填补了国内相关领域的技术空白,更为我国在全球高端制造业竞争中赢得了重要筹码。

产业化应用成效显著,彰显了技术创新的实用价值。

目前,该仿真平台已成功应用于拓荆科技、华为等多家行业领军企业,在实际生产中展现出突出优势。

与国外同类型产品相比,该平台在保证技术性能的前提下,经济成本降低15%,时间成本节约20%,为企业创造了可观的经济效益。

校企合作模式的创新为产业发展注入了新动力。

大连理工大学国家重点学科等离子体物理学科教授张钰如表示,团队与国内众多头部企业建立了深度合作关系,设立校企联合实验室,形成了产学研一体化发展格局。

这种合作模式不仅加速了技术成果转化,更为学生提供了深入企业参与联合技术攻关的宝贵机会,实现了人才培养与产业需求的精准对接。

从更广阔的视角来看,这一技术突破对于提升我国制造业核心竞争力具有重要意义。

原子级制造技术是现代高端制造业的基础支撑,其发展水平直接关系到国家在全球产业链中的地位。

该仿真平台的成功研发,不仅为相关企业提供了先进的技术工具,更为我国在半导体、新材料等战略性新兴产业领域的发展奠定了坚实基础。

从实验室的技术突破到生产线的实际应用,MAPS平台的诞生不仅是一项科研成果的转化,更是我国高端装备研发范式变革的缩影。

在新型工业化浪潮中,这种融合基础研究、工程应用与人才培养的创新生态,或将重塑全球半导体产业竞争格局,为制造强国建设注入新动能。