阿斯麦称EUV光源实现千瓦级稳定输出 光刻产能到2030年或提升五成

荷兰阿斯麦公司日前披露,其研发团队在极紫外(EUV)光刻技术的核心部件上取得关键突破,有望为全球芯片制造带来更大的产能提升空间;路透社报道称,阿斯麦EUV光源首席技术官迈克尔·珀维斯在采访中表示,新系统能够在客户真实生产环境的严苛条件下稳定输出1000瓦功率;这不是实验室里的短时展示,而是具备工业化应用价值的成熟方案。

阿斯麦此次技术突破展现了技术创新对产业效率提升的直接推动作用,也再次说明基础研究在关键技术攻关中的重要性。在全球科技竞争加剧的当下,关键环节的突破往往来自对基础科学问题的长期投入与积累。展望未来,随着摩尔定律逐步逼近物理极限,半导体产业或将更依赖系统性创新来驱动发展;这既考验企业的研发能力,也对各国科技政策提出更高要求。(完)