大家聊聊国产CMP设备领头企业华海清科的事。说到做芯片,就像盖高楼,电路一层层往上叠,每一层得有个绝对平的底子。给个“全局平坦化”的活儿,主要靠化学机械抛光这行家伙什。天津华海清科股份有限公司,作为国内唯一能做12英寸商用CMP设备的上市公司,算是这行的技术大拿。这公司从清华实验室里长出来的,从2008年10月开始,清华就接手了国家02专项的课题,把CMP的关键技术拿下来了,还弄出了第一台原理样机,给后面赚钱铺路。 到了2013年,清华跟天津市政府合伙成立了华海清科,开始把实验室里的东西变成能卖的商品。公司一成立就挺拼,2014年搞出了国内首台12英寸CMP设备,2015年把设备给中芯国际用了,2016年开始卖钱。往后几年产品线越来越丰富:2017年8英寸设备出来了;2021年12英寸减薄抛光一体设备也得到了客户认可;2022年6月在科创板成功上市;2023年5月新的12英寸超精密晶圆减薄机发给了龙头企业。从搞技术到资本认可,华海清科走得很稳。 公司主要搞的就是以CMP为核心的技术,做出来的设备能让晶圆表面平到纳米级别。CMP设备是通过化学腐蚀和机械研磨一起干活的,能高效去掉多余的材料。关键技术分三方面:抛光头分区控制要平;抛光过程中检测要准;最后清洗得干净。现在芯片越做越小(技术节点下降),对设备要求也越来越高。5到3纳米的先进制程现在还得靠它。虽然整个技术换代可能慢一点,但各个核心模块会一直升级。 公司的产品系列里12英寸Universal系列是大头,能对付LOGIC、3D NAND、DRAM这些芯片的抛光活。Universal-300 T设备性能挺好的,检测技术多又先进。除了CMP设备,公司也在搞减薄机和清洗机这些新东西。 市场方面,美国应用材料和日本荏原以前把CMP设备市场占得死死的。2020年这两家加起来占了全球90%以上的份额。而华海清科打破了这个局面。技术上国外大厂能做3纳米工艺制程的CMP需求,华海清科做到了28纳米成熟制程工艺覆盖,14纳米的还在验证。国内市场方面华海清科是唯一能把12英寸设备大规模量产卖出去的厂商。 公司赚钱主要靠卖高价值的12英寸核心设备再加上持续服务增值。深度绑定长江存储、中芯国际、华虹集团还有沪硅产业等大客户。 以后芯片层数变多会让CMP需求变大;先进封装带来的市场也不少;再加上国产化替代从“有没有”变成“好不好”,都能给公司提供发展空间。同时公司也在拓展减薄设备和耗材业务等新的增长点。