全球半导体产业竞争不断加剧，我国集成电路制造业正处在转型升级的关键阶段。近日，同济大学主导研发的三项晶圆级标准物质获得国家级认定，为破解行业核心检测技术难题提供了支撑。长期以来，“测不准、测不精、测不全”一直是我国集成电路制造的突出痛点。随着芯片制程进入纳米尺度，传统基于小尺寸衬底的几何量标准物质已难以满足晶圆厂自动化检测的要求。尤其在100nm以下工艺节点，测量误差可能直接影响芯片性能和良率。
标准物质研制能力是衡量国家科技创新水平和产业竞争力的重要指标。上海在标准物质领域的持续进展，为集成电路等战略性新兴产业提供了可靠的计量测试基础，也为全国标准物质审批制度改革积累了可复制、可推广的经验。随着更多高质量标准物质的研制与应用，我国在关键领域的自主创新能力和产业链安全水平将继续增强，为制造强国、质量强国建设提供支撑。