拓荆科技15年自主创新路:从技术突围到产业领跑的半导体设备国产化实践

记者从拓荆科技获悉,该公司2024年前三季度实现营业收入42.20亿元,同比增长85.27%,在手订单饱满,呈现供不应求态势。

这一业绩表现折射出我国半导体设备产业在技术突破和市场拓展方面取得的显著进展。

拓荆科技的发展轨迹体现了国产半导体设备企业的成长路径。

2010年,该公司由中科院沈阳科学仪器有限公司与半导体领域归国人才联合发起设立,依托国家"十一五"02重大专项支持,于2011年成功推出首台12英寸等离子体增强化学气相沉积设备并通过验证,实现从零到一的关键突破。

企业发展初期面临的困难具有行业普遍性。

半导体设备行业技术壁垒高、回报周期长、产品迭代快,初创企业在资本对接和客户认同方面存在较大挑战。

拓荆科技董事长吕光泉回忆,公司曾多次面临解散危机,"送设备、求验证、倒贴钱"的模式在市场开拓初期屡见不鲜。

转机出现在企业与临港新片区的合作。

2020年12月,拓荆科技在临港设立子公司并投资建设半导体先进工艺装备研发与产业化基地。

临港新片区聚焦集成电路等前沿产业,已形成涵盖芯片制造、封装测试及上游设备与材料的完整产业链生态,为企业技术突破和规模化生产提供了有力支撑。

数据显示,临港集成电路企业从最初的3家增长至300余家,产业规模从5亿元跃升至500亿元。

产业集群效应使企业能够就近对接客户、高效解决需求,形成良性发展循环。

拓荆科技在临港的发展实践验证了产业集群对企业成长的促进作用。

技术创新是拓荆科技保持竞争优势的核心驱动力。

公司现有员工1600余人,其中研发人员占比40.72%。

2024年前三季度研发投入5.39亿元,同比增长12.14%。

截至今年9月30日,公司累计获得授权专利646项,其中发明专利324项,研发实力有效转化为产品竞争力。

在技术路径选择上,拓荆科技重点布局等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积、间隙填充以及先进键合等关键技术领域。

其中,原子层沉积技术从实验室走向量产,实现了薄膜在复杂三维结构上的纳米级均匀性和致密性控制,成为国产化进程中的重要突破。

市场环境的变化为国产半导体设备企业提供了发展机遇。

后摩尔时代半导体技术迭代加速,存储市场行情回暖,双重因素催化下,具备技术实力的设备企业迎来业绩快速增长期。

拓荆科技在先进封装领域的键合技术已达到国际先进水平,部分指标实现全球领先。

产业政策支持为企业发展提供了重要保障。

拓荆科技获评高新技术企业和临港新片区企业技术中心,荣获"东方芯港杰出贡献奖"等荣誉,体现了政策环境对创新型企业的有效激励。

展望未来,拓荆科技规划在临港二厂达产后新增300台套年产能,进一步扩大市场份额。

随着芯片封装技术向三维集成方向发展,先进封装设备市场需求将持续增长,为公司业务拓展提供广阔空间。

从早期艰难求证到如今订单充足,拓荆科技的成长折射出国产半导体装备从追赶到突破的现实路径:以长期主义投入换取核心能力沉淀,以产业生态协同缩短从研发到量产的距离。

面向未来,技术迭代不会放慢脚步,唯有在关键工艺上持续攻坚、在工程化与规模化上稳扎稳打,才能把阶段性成绩转化为更具韧性的产业竞争力。