你知道吗？中国电子科技集团公司第四十八研究所给中电科红太阳先进半导体工艺装备研究中心与光伏装备产业技术工程化中心揭牌了，这个仪式是2月4日在红网时刻新闻上发布的，还提到卢杨屾和董宇瑶记者也在场呢！中电科红太阳PECVD镀膜设备就成了这次揭牌仪式的主角。这两大中心集成了超过60年的技术积淀，拥有400多项核心专利，还有300人的强大研发团队呢。光伏装备领域方面，他们给CVD镀膜、PVD镀膜、ALD镀膜、高温扩散退火还有多物理场模拟仿真搭建了五大技术平台。这样的话，就能够支持高效电池核心装备在不同技术路线上应用了。甚至给模拟仿真技术与硬件结构设计结合，还能优化反应腔室的结构呢。半导体装备领域方面呢，他们把管式Batch设备和腔体式Cluster设备这两大装备技术平台搭建起来了。另外还有高温炉体、传输模块这两个核心部件测试平台也为性能优化提供了支持。 这次“双中心”的成立标志着中电科红太阳在半导体高端核心工艺装备制造领域的发展迈入了一个新的阶段啊！这对于中国泛半导体产业自主发展升级还有区域产业集群发展来说，绝对是个非常好的消息呢！