中国首台串列型高能氢离子注入机成功出束 关键装备自主化再破“卡点”

在全球半导体行业竞争日益激烈的形势下,实现关键制造设备的自主可控已成为我国产业升级的关键课题;作为半导体晶圆制造的七大核心设备之一,离子注入机技术长期被少数国际巨头垄断,其中高能氢离子注入机因涉及复杂的加速器物理和精密控制系统,研发难度尤为显著。

从依赖进口到自主掌握,从技术空白到国际领先,中国原子能科学研究院的该成就再次证明,关键核心技术必须依靠自主创新。这台高能氢离子注入机的成功研制,不仅是一项重要技术突破,更标志着我国在战略性产业自主可控道路上迈出了坚实一步,预示着我国高端制造业将迎来更多创新成果。