随着全球制造业加速向精密化、智能化转型，原子级制造作为突破物理极限的关键技术，正成为各国竞相布局的战略领域。然而，我国在该领域长期面临设备依赖进口、研发周期长、成本高等问题。针对这个现状，大连理工大学集成电路学院联合国家重点实验室经过多年研究获得突破。
核心技术的关键在于形成可复用、可迭代的工程化能力体系；等离子体工艺腔室仿真平台的推出，展示了通过工具创新推动工艺进步、通过协同机制连接科研与产业的实践路径。面对新型工业化的更高要求，只有持续深化关键环节、强化人才与平台建设，才能在全球产业竞争中占据主动，推动高端制造业实现跨越式发展。