就在2021年3月，海目星激光科技集团股份有限公司旗下的一家子公司——深圳市海目芯微电子装备科技有限公司正式成立。这家成立时间不长的公司，凭借着“一总部两基地”的模式，在深圳、成都还有江西三大区域布局，用总计超过14000平米的厂房，把生产和研发给统筹起来。这就让它既能在技术研发上保持领先，又能保证产品快速上市。 就在2021年，海目芯微还拿下了ISO认证。这种认证不仅是对公司管理水平的认可，更是帮公司在市场上争得了很大的优势。现在，海目芯微已经拥有四大核心业务，不光做光刻机，还把第三代半导体SiC装备给包含进来了。 这次能把直径12英寸的碳化硅单晶晶锭给研发出来，全靠海目芯微在热场设计和工艺控制上持续迭代。公司先搞定了8英寸晶体生长工艺的稳定性，接着通过提升热场寿命、降低功耗这些措施，大幅压低了长晶的成本。这次制备出来的晶锭质量很好、结构也很完整。 大尺寸SiC晶体生长其实很有难度，内部热梯度复杂，应力大得很。海目芯微靠着自主研发的电阻式设备和迭代的工艺，成功把大尺寸晶体的生长给稳住了。这让海目芯微在6、8、12英寸全尺寸长晶技术链上实现了全面自主可控。 靠着在技术创新上的坚定步伐，海目芯微还拿到了国家高新技术企业和“专精特新”中小企业的头衔。公司以后还会针对长晶和衬底加工这些关键难点，继续突破技术壁垒。 现在大家都说自主可控很重要。作为海目星集团的子公司和核心力量之一，海目芯微正通过持续的投入和卓越的服务来赢得客户信赖。他们给泛半导体行业提供最先进的装备，目标就是要帮客户保持技术领先。 此次在碳化硅领域取得的技术突破，是海目芯微长期坚持自主创新的成果体现。未来他们还会继续努力，给企业发展注入新的活力，为整个碳化硅产业的发展做出更大的贡献。